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大口径元器件真空烘箱设备
大口径元器件真空烘箱设备

大口径元器件真空烘箱设备

用于大尺寸基材在工艺过程中干燥的真空烘箱或非接触式加热烘干热板。

分类：

大口径元器件真空烘箱设备

关键词：

微纳加工

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｜尺寸：Φ2000mm

｜最高工作温度：350℃

｜升温速率：常温-350℃≤4min

｜温度均匀性：±2℃（有载，真空）

｜控温精度：0.1℃

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