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微纳加工

微纳加工(大尺寸基材的显影、干法刻蚀、镀膜、清洗、烘干的整体方案及设备定制)、生物制药(流体管理、高精度定量输送、混匀及分装的整体方案及设备定制)、晶圆定制加工(可按SEMI标准定制、改制不同规格晶圆,材料:SI、硅氧化片、SOI、Sic)

流体管理、高精度定量输送、混匀及分装的整体方案及设备定制

案例名称

Inula DCC-2000

案例名称

Inula DCC-900

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