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专为大尺寸基材设计，支持定制多槽、单槽超声波及干湿混合清洗平台，灵活应对各类复杂工艺清洗需求。
分类：
大口径清洗设备
关键词：
微纳加工
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｜尺寸：Φ2000mm
｜超声频率：10-120Khz
｜温度范围：室温-100°C
｜溶剂清洗：浓硫酸、丙酮、异丙酮、过氧化氢等
｜颗粒控制：有效控制粒径≥1um的污染颗粒
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