涂胶（匀胶）

　　匀胶尺寸范围：适用于6寸、8寸、12寸

　　匀胶效果及优势：可以控制膜层厚度和膜层均匀性

　　匀胶机原理：

　　即在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力便滴在基片上的胶液均匀的涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数不同，也和旋转速度及时间有关。

　　一个典型的匀胶过程包括滴胶，高速旋转以及干燥(溶剂挥发)几个步骤。

　　（1）滴胶：把光刻胶滴注到基片表面上，

　　（2）高速旋转：把光刻胶铺展到基片上形成簿层，

　　（3）干燥：除去胶层中多余的溶剂。

　　匀胶机优势：

　　（1）旋转速度可调；

　　（2）旋转时间可调；

　　（3）真空吸附系统的构造；

　　（4）加热时间可调；

　　（5）加热温度可调；

　　（6）可选择去边。