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大口径显影设备
大口径显影设备

大口径显影设备

运用自主知识产权的动态旋覆技术，创新显影工艺，超越传统喷淋、浸泡、涂布等显影工艺方法，确保大尺寸显影的均匀性，满足大面积、高深宽比、灰度曝光及厚膜等高需求。

分类：

大尺寸显影设备

关键词：

微纳加工

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｜尺寸：Φ2000mm

｜膜层厚度：10nm-20um（适用2D、3D结构）

｜适用线宽：≥0.5um

｜不一致性：5um，≤士3%

上一个： 无

下一个： Inula DCC-2000

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